潔淨室汙染控製領域中比較新穎的技術（shù）方案進行介紹

1）用傳（chuán）統的噴水室濕法處理空氣來處（chù）理新風中的化學物質。近幾年來日本開展了很（hěn）多研究證明了（le）其有效性。日本三機工業公司利用純水及自來（lái）水對 氣體的噴（pēn）水處理進行了比較研究，認為自來（lái）水（shuǐ）比（bǐ）純（chún）水的淨化率更高，這（zhè）是（shì）由於水中 離子等的影響。

2）有殺菌作用的HEPA過濾器(殺菌酵素過濾囂)。過去采用金屬離子的毒性來（lái）殺菌（jun1），如銀型陽高於交換纖維製成（chéng）的空氣過濾器(IEE—Ag)，現今可采用從生物體中提（tí）取的天然酵素(固定在纖維紙上，達到分子級（jí）的結（jié）合水平)將細菌的細胞壁溶解以達到殺菌（jun1）的目的，是一種（zhǒng）安全的滅菌措施，它防（fáng）止了過（guò）濾器上微生物增殖所產生的二次（cì）汙染。

3）UV光電子空氣（qì）淨化方法。這種方法不同於普通的靜電過濾器，該方法利用將紫外線照射在金屬（shǔ）膜層上產生（shēng）光電（diàn）效應，在空氣中產生電子和負離子使流經的汙染物質荷電並被集塵捕集（jí）。目前在有限（xiàn）的小空間範圍內已有應用。

4）除海鹽粒子過濾器海鹽粒子的粒徑範圍為1-lO ，中位粒徑約為3-4 。沿（yán）海岸地區空氣中含鹽量平均達1 左右(一般地區低於該值)，台風等強風（fēng）作用下可達100 。這種（zhǒng）狀況對微電子工廠不利。現在（zài）有兩種措施：1)所采用的濾材即使在（zài）大量鹽分附著（zhe）後不容（róng）易析出；2)在空調箱（xiāng）進入段處先（xiān）設噴水段及檔水板，可先捕集90％的海鹽粒子，再經普通的空氣過濾器清除未被（bèi）捕集的粒子。噴霧用水應直接排放出，不予回收。對於臨海設（shè）置的微電子工廠在空調淨化裝置中應予考慮（lǜ）。

5）智能型空氣離子淨化係統近幾年來歐洲開發了一種智能化淨化係統，如瑞土LK公司的IONAIR離子空氣智能（néng）化淨化係統（tǒng），它利用離子發（fā）生工作單元的高壓電離（lí）原（yuán）理，釋（shì）放（fàng）出穩定的正（zhèng）負電氧離子族，帶電氧離子與VOC物質發生（shēng）反應，將其分解成 和 ，同時帶電氧離子包裹並殺滅細（xì）菌，以達到去（qù）除臭味淨化空氣的目的，在這過程中，會產生少量 。為保證室內空氣質量處於***佳狀態，該係（xì）統還配（pèi）有智能化控（kòng）製係統，通過送風管上的風速（sù）、濕度和 傳感器及回風管和新風管中（zhōng）的空氣品質傳感器並能將檢測數據傳到電（diàn）離控製器，以控製（zhì）離子發生單元的工作強度（dù），自動控製室內的空氣品質，同時這些數據通過傳送器和網絡，可以進行遠程監控

6）新型（xíng）空氣吹淋室。傳統的吹淋室對人體（tǐ）吹（chuī）淋停（tíng）止後，小室內的含塵空氣有可能被帶入（rù）車間（jiān），新改進的吹琳室，具有快速（sù）自淨的功能，當（dāng）停止吹（chuī）淋氣流後，可部分轉換成頂部（bù）垂直氣流（liú），這樣可使小室內空氣含塵量很快降低，達到自淨效果。

7）超薄型自淨（jìng）裝置。